真空室内非接触面电阻在线测量系统Filmonitor6410

磁控溅射镀膜的真空室内用于检测银层镀制的专用定制设备。

注：此产品必须配备Filmonitor6000分析基础部分。

银层是低辐射镀膜玻璃最关键的功能膜层，其膜层的品质状况决定了银膜层的红外反射性能（辐射率），也就是最终产品的隔热性能。银膜层的镀制不仅影响产品的节能品质，同时贵金属银靶材的用量也关系到最终产品的制造成本。面电阻测量设备安装于真空室内，用于磁控溅射镀膜中银层的镀膜监控，一般安装于银层镀膜后的位置。如三银低辐射镀膜可安装三个面电阻探头，镀膜后可以依据面电阻值得变化情况，间接对于银层的镀膜密度、膜层厚度以及均匀性进行监控。通过面电阻和光学检测的结合应用，可以精确控制银膜层的镀制，从而保证最终低辐射镀膜玻璃的品质，节约生产成本。

测量对象

• Low-E镀膜玻璃（尤其表面不导电的Low-E玻璃）
• TCO光伏玻璃、ITO玻璃、触摸屏玻璃、LED发光玻璃
• 透明导电薄膜材料
• 人工合成金属片及导电纸
• 其他导电和半导体材料

仪器功能

• 网格式快速自动测量玻璃、薄膜等镀膜产品的面电阻，并计算出面电阻平均值、各通道平均值、各通道纵向差值及横向差值
• 实时显示每一片被测产品面电阻各通道分布、各通道纵向差值及横向差值，并绘出相应测量结果的历史趋势曲线
• 丰富的品质分析和报警阈值设定功能，可根据总平均值、横向差值、纵向差值互相结合的方法进行品质评判
• 自动存储并管理测量结果，可以进行数据库查询操作，数据可以导出给EXCEL等软件进行进一步处理
• 根据生产线实际的生产情况，自动舍弃无被测物的测量通道数据
• 软件可设置多个不同等级的用户，分别对应不同的操作权限
• 打印测量数据，打印历史趋势数据及曲线